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半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)XP-703D

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產品名稱: 半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)XP-703D
產品型號: XP-703D
產品廠商: 日本新宇宙
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簡單介紹

半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)XP-703D 特點: *適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。

半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)XP-703D的詳細介紹

半導體特氣檢漏儀(自動吸引式)XP-703D
型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測原理

專線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度
(單位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

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